在傳感器行業(yè)中，力、溫度、流量是應(yīng)用最為廣泛的幾種傳感器。在當(dāng)今快節(jié)奏的人類社會(huì)里，因科學(xué)及工程技術(shù)的高速發(fā)展，在不同的行業(yè)技術(shù)應(yīng)用中對經(jīng)典物理量的監(jiān)測相比以往都出現(xiàn)了更高的頻次和不同維度的應(yīng)用需求。

壓力傳感器

在測量上所稱“壓力”就是物理學(xué)中的“壓強(qiáng)”，反應(yīng)物質(zhì)狀態(tài)的一個(gè)重要參數(shù)。在壓力測量中，有表壓、絕壓（絕對壓力）、負(fù)壓、真空度之分。在工業(yè)中所用的壓力指示值大多為表壓，即絕對壓力和大氣壓力的差值，所以絕壓就是表壓和大氣壓的和。若測量壓力低于大氣壓，則稱為負(fù)壓或真空度。

壓阻式壓力傳感器

半導(dǎo)體應(yīng)變片式傳感器在實(shí)際應(yīng)用中被稱為壓阻式壓力傳感器，壓阻式壓力傳感器在早期利用半導(dǎo)體應(yīng)變片粘貼在彈性體上制成。上世紀(jì)70年代后期，研制出了周邊固定的力敏電阻和硅膜一體化的擴(kuò)散型壓阻式壓力傳感器，克服了粘貼帶來的滯后、蠕變及固有頻率較低和集成化困難的缺點(diǎn)，且把應(yīng)變電阻條和誤差補(bǔ)償、信號(hào)調(diào)理等電路集成在一塊硅片上。

壓阻式壓力傳感器的主要特點(diǎn)是結(jié)構(gòu)尺寸小、重量輕、易集成，擁有超高的靈敏度和分辨率，適合對微小壓力進(jìn)行檢測。但由于它采用半導(dǎo)體硅材料制成，對溫度敏感，如不采用溫度補(bǔ)償，溫度誤差會(huì)很大。

壓阻式壓力傳感器應(yīng)用

由于壓阻式壓力傳感器具備一系列優(yōu)點(diǎn)，在航天、航海、石油化工、醫(yī)療設(shè)備、氣象、軍事裝備中都得到了廣泛應(yīng)用。

壓阻式壓力傳感器產(chǎn)品

壓阻式壓力傳感器工藝復(fù)雜，對傳感器的制造工藝要求苛刻。當(dāng)前市場上國產(chǎn)產(chǎn)品較少，多為進(jìn)口。所幸國產(chǎn)產(chǎn)品雖少，但不是沒有，下面列舉兩款比較典型的壓阻式壓力傳感器的技術(shù)參數(shù)進(jìn)行客觀的對比和說明。

壓力范圍

0~10kPa的壓力量程屬于一個(gè)比較小的壓力測量范圍，在實(shí)際應(yīng)用中，量程范圍的選擇要比所用的量程稍大即可。

工作溫度

一般工業(yè)應(yīng)用與集成電路系統(tǒng)的要求在-40℃~80℃之間。

零點(diǎn)輸出

在工作電壓的激勵(lì)下，理論上傳感器空載時(shí)輸出應(yīng)為零，但實(shí)際上傳感器空載時(shí)輸出時(shí)是不穩(wěn)定的，這就出現(xiàn)了一個(gè)偏差范圍，此范圍越小越好。

過載壓力

過載壓力分為兩種，一種為安全過載，安全過載是指在此載荷內(nèi)不會(huì)對壓力傳感器造成破壞性損壞，但不能長期過載。另外一種為極限過載，是指壓力傳感器的極限臨界負(fù)荷，超過極限即意味著傳感器將會(huì)損壞。